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    1800度高溫燒結爐

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    單向退火爐

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    單向退火爐

    • 所屬分類:退火爐

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2020/05/15
    • 規格:
    • 類型:
    • 在線詢價
    • 詳細介紹

    單向退火爐

    退火目的是什么?在高溫(1750℃)加熱狀態下,通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時清除一些晶格內部缺陷,從而釋放內部應力,為后續加工奠定良好的基礎。晶體退火恒溫時間為36小時;每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。


    單向退火爐



    主要技術參數

    型號

    LGYL-1800

    單向退火爐

    LGYL-1800

    雙向退火爐

    LGYL-1650

    單向退火爐

    LGYL-1650

    雙向退火爐

    有效工作區尺寸(mm)

    860*340*300

    860*340*300

    860*420*450

    860*420*450

    額定功率

    57KVA

    57KVA

    57KVA

    57KVA

    每爐裝載量

    4寸晶棒約5800mm

    4寸晶棒約5800mm

    4寸晶片約9000mm

    4寸晶片約9000mm

    額定溫度

    1750℃

    1750℃

    1600℃

    1600℃

    保溫材料

    氧化鋯纖維

    氧化鋯纖維

    氧化鋁纖維

    氧化鋁纖維

    移動軌道行程速率

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    升降平臺行程速率

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    操控方式

    手動與自動

    手動與自動

    手動與自動

    手動與自動

    工作電壓

    電爐加熱380V

    儀表工作220V

    電爐加熱380V

    儀表工作220V

    電爐加熱380V

    儀表工作220V

    電爐加熱380V

    儀表工作220V

    運行機構

    絲桿、軌道、電動運行

    絲桿、軌道、電動運行

    絲桿、軌道、電動運行

    絲桿、軌道、電動運行

    加熱元件

    1900型硅鉬棒(U型)

    1900型硅鉬棒(U型)

    1800型硅鉬棒(U型)

    1800型硅鉬棒(U型)

    控制精度

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    控溫方式

    100段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機


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    關鍵詞:單向退火爐,1800退火爐

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